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半导体废气处理设备 废气净化设备

简要描述:废气介绍:由于半导体工艺对操作室清洁度要求*,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。半导体废气处理设备

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  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-12-01
  • 访  问  量:1642
详情介绍

废气介绍:由于半导体工艺对操作室清洁度要求*,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。

废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

半导体废气处理

处理方法:依据这些废气的特性,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,可采取以下综合处理方法:1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统等。半导体废气处理设备半导体废气处理设备

随着工业化程度的不断提高,VOCs的污染有进一步扩大的趋势。而随着zui近环保政策的愈加严厉,对有机污染废气的排放控制就显得更为重要了。当前,VOCs治理有两类基本技术,一类是回收技术,治理的基本思路是对排放的VOCs进行吸收、过滤、分离,然后进行提纯等处理,再资源化循环利用。另一类是销毁技术,处理的基本思路是通过燃烧等化学反应,把排放的VOCs分解化合转化为其他无毒无害的物质。目前,这两类技术都得到研究和应用。

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