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超纯水处理回收利用

 更新时间:2017-09-05 点击量:1222

 

过程简述

 

在半导体产品制造过程中,由于生产设备的精密性和生产工艺的复杂性,对其配套设施提出了很高的要求,尤其对作为半导体行业血脉 的超纯水系统更是高之又高。半导体行业超纯水制造工艺可以概述为4个部分,分别为预处理部分、RO部分、电去离子部分和抛光混床部分;在有些半导体厂中, 也有用“阴床+阳床”代替电去离子装置的,主要根据原水水质和产水水质对弱电解质的要求而定。
 

产品优势

 

1.避免传统离子再生耗费的大量酸碱,对环境更友好;

2.克服传统离子设备再生周期相对较长;

3.超滤反洗排水、一级RO浓水排水和CEDI浓水排水及其回收利用措施,利于节能减排;

4.节约水资源及半导体制造单位的运行成本。

产品应用

 

预处理部分

1.多介质过滤器+活性炭过滤器;
2。粗过滤器+超滤装置

 

反渗透部分

反渗透膜.。

电去离子部分

EDI模块和 CEDI模块

 

抛光混床

产品:

精密滤芯过滤器、RO反渗透设备